杭州扬涛科技有限公司
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文件标题 :
纳米级光学干涉测厚仪
文件类型 :
pdf
上传时间 :
2018-04-13 11:55:11
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文件大小 :
1411KB
更新时间 :
2018-04-13 11:55:11
详细介绍
纳米级光学干涉测厚仪
应用： PET、PE、PMMA等薄膜·离型膜·沉积膜·金属表面漆膜涂层·膜涂层·塑料涂层
产品简介：
PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪利用光谱相干测量学，用于测量半导体制造过程中的薄膜厚度，以及安装在半导体制造设备上的APC和薄膜的质量控制，能够测量单层/多层/涂布层在不透光基板上的厚度，精确度可达纳米级。
PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪，其核心部件主要源自于美国Ocean Optics有限公司，其微型光谱仪体积小巧，可对全谱进行快速采集，产品应用广泛，可用于生化、光电、航空航天、环境保护、安全检测、农业等行业，可进行 Low-E玻璃镀膜检测，ITO玻璃镀膜检测，PET涂布在线膜厚检测，金属表面涂层检测，半导体，LCD膜厚检测等。
工作原理： 分光干涉法
当光入射到样品内部，会发生多重反射现象，多重反射光会由于相互之间的相位差增强或减弱，而相位差取决于样品的折射率和光程，因此来自于样本的反射光谱与其厚度有直接关系。光谱干涉法就是利用这种独特的光谱分析出样品的厚度，该厚度测量仪器根据测试范围的不同主要使用曲线拟合和FFT两种方法对光谱进行分析。
应用范围：
•PET薄膜厚度测量
•涂层厚度测量，如HC，保护膜，光刻胶，OCA，离型膜等涂布厚度或克重的测量
•用于包装的PET表面介质膜克重或膜厚测量
•金属表面透明和半透明漆膜涂层
在线扫描式或多点测量（多达15点）同时测量
通过光强波动校正功能实现长时间稳定测量
提醒及警报功能(通过或失败)
反射(透射)和光谱测量
同步测量多层厚度
高速、高准确度
参数：
型号 | PSD-2000W | PSD-2000P | PSD-2000R |
可测膜厚范围 | 15 nm - 100 um | 2nm - 200 um | 200nm-3000um |
测量可重复性 | 0.02 μm | ||
测量准确 | ±1% | ||
光源 | 钨卤素灯 | ||
测量波长 | 380 - 1050 nm | 250 - 1050 nm | 900 - 1200 nm |
光斑尺寸 | 约φ1 mm | ||
工作距离 | 10 mm | ||
可测层数 | 最多10层 | ||
分析 | FFT 分析，拟合分析 | ||
测量时间 | 19 ms/点 | ||
外部控制功能 | Ethernet | ||
接口 | USB 2.0（主单元与电脑接口）；RS-232C（光源与电脑接口） | ||
电源 | AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz | ||
功耗 | 约330W（2通道）~450W（15通道） | ||
PSD-200实验室型纳米级光学干涉测厚仪
用途：
·太阳能减反膜玻璃，TCO玻璃，Low-E玻璃，ITO玻璃，光学玻璃镀膜等测量。
·PET膜透明胶膜厚测量
·膜厚，颜色，粗糙度，透过率，反射率，雾度
·可用于实验室离线测量
技术水平：
·精度0.1%，达到国际同类产品水平
·检测透明和半透明涂层
·反射式太阳能玻璃的膜厚/折射率测量仪，具有测量速度快，测量准确，操作简便的特点。
技术参数：
产品类型 | 可见光 | 紫外+可见光 |
厚度测量 | 15nm-100μm | 1nm-100μm |
折射率 | 厚度要求100nm以上 | 厚度要求50nm以上 |
准确性 | 2nm或0.5% | |
精度 | 0.1nm | |
测量时间 | 小于1秒 | |
光斑大小 | 大约1mm | |
软件：
·实时显示反射率，透光率，膜厚（多层膜），颜色值和折射率；同时具有仿真功能
·支持多角度各种入射条件下的仿真和拟合
·在线/离线监控和历史数据界面
·输出至SQL服务器；小型内置式SQL
·可根据客户要求定制界面
