杭州扬涛科技有限公司
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文件标题 :
纳米级光学干涉测厚仪
文件类型 :
pdf
上传时间 :
2018-04-13 11:55:11
下载次数 :
171
文件大小 :
1411KB
更新时间 :
2018-04-13 11:55:11
详细介绍
型号 PSD-2000W PSD-2000P PSD-2000R 可测膜厚范围 15 nm - 100 um 2nm - 200 um 200nm-3000um 测量可重复性 0.02 μm 测量准确 ±1% 光源 钨卤素灯 测量波长 380 - 1050 nm 250 - 1050 nm 900 - 1200 nm 光斑尺寸 约φ1 mm 工作距离 10 mm 可测层数 最多10层 分析 FFT 分析，拟合分析 测量时间 19 ms/点 外部控制功能 Ethernet 接口 USB 2.0（主单元与电脑接口）；RS-232C（光源与电脑接口） 电源 AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz 功耗 约330W（2通道）~450W（15通道） ·实时显示反射率，透光率，膜厚（多层膜），颜色值和折射率；同时具有仿真功能 ·支持多角度各种入射条件下的仿真和拟合 ·在线/离线监控和历史数据界面 ·输出至SQL服务器；小型内置式SQL ·可根据客户要求定制界面
