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文件标题 : 纳米级光学干涉测厚仪
文件类型 : pdf
上传时间 : 2018-04-13 11:55:11
下载次数 : 171
文件大小 : 1411KB
更新时间 : 2018-04-13 11:55:11

详细介绍

型号

PSD-2000W

PSD-2000P

PSD-2000R

可测膜厚范围

15 nm - 100 um

2nm - 200 um

200nm-3000um

测量可重复性

0.02 μm

测量准确

±1%

光源

钨卤素灯

测量波长

380 - 1050 nm

250 - 1050 nm

900 - 1200 nm

光斑尺寸

约φ1 mm

工作距离

10 mm

可测层数

最多10层

分析

FFT 分析,拟合分析

测量时间

19 ms/点

外部控制功能

Ethernet

接口

USB 2.0(主单元与电脑接口);RS-232C(光源与电脑接口)

电源

AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz

功耗

约330W(2通道)~450W(15通道)

 

·实时显示反射率,透光率,膜厚(多层膜),颜色值和折射率;同时具有仿真功能

·支持多角度各种入射条件下的仿真和拟合

·在线/离线监控和历史数据界面

·输出至SQL服务器;小型内置式SQL

·可根据客户要求定制界面

 

 


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