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光学干涉测厚系统

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光学干涉测厚系统
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纳米级光学干涉测厚仪

应用: PET、PE、PMMA等薄膜·离型膜·沉积膜·金属表面漆膜涂层·膜涂层·塑料涂层

产品简介

PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪利用光谱相干测量学,用于测量半导体制造过程中的薄膜厚度,以及安装在半导体制造设备上的APC和薄膜的质量控制,能够测量单层/多层/涂布层在不透光基板上的厚度,精准度可达纳米级。   

PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪,其核心部件主要源自于美国Ocean Optics有限公司,其微型光谱仪体积小巧,可对全谱进行快速采集,产品应用广泛,可用于生化、光电、航空航天、环境保护、安全检测、农业等行业,可进行 Low-E玻璃镀膜检测,ITO玻璃镀膜检测,PET涂布在线膜厚检测,金属表面涂层检测,半导体,LCD膜厚检测等。

             

工作原理: 分光干涉法

当光入射到样品内部,会发生多重反射现象,多重反射光会由于相互之间的相位差增强或减弱,而相位差取决于样品的折射率和光程,因此来自于样本的反射光谱与其厚度有直接关系。光谱干涉法就是利用这种独特的光谱分析出样品的厚度,该厚度测量仪器根据测试范围的不同主要使用曲线拟合和FFT两种方法对光谱进行分析。

 

         

 

应用范围:

 

•PET薄膜厚度测量

•涂层厚度测量,如HC,保护膜,光刻胶,OCA,离型膜等涂布厚度或克重的测量

•用于包装的PET表面介质膜克重或膜厚测量

•金属表面透明和半透明漆膜涂层

 

产品优势:

在线扫描式或多点测量(多达15点)同时测量

通过光强波动校正功能实现长时间稳定测量

提醒及警报功能(通过或失败)

反射(透射)和光谱测量

同步测量多层厚度

高速、高准确度

 

 

参数:

型号

PSD-2000W

PSD-2000P

PSD-2000R

可测膜厚范围

15 nm - 100 um

2nm - 200 um

200nm-3000um

测量可重复性

0.02 μm

测量准确

±1%

光源

钨卤素灯

测量波长

380 - 1050 nm

250 - 1050 nm

900 - 1200 nm

光斑尺寸

约φ1 mm

工作距离

10 mm

可测层数

最多10层

分析

FFT 分析,拟合分析

测量时间

19 ms/点

外部控制功能

Ethernet

接口

USB 2.0(主单元与电脑接口);RS-232C(光源与电脑接口)

电源

AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz

功耗

约330W(2通道)~450W(15通道)

 

 

PSD-200实验室型纳米级光学干涉测厚仪    

用途:

·太阳能减反膜玻璃,TCO玻璃,Low-E玻璃,ITO玻璃,光学玻璃镀膜等测量。

·PET膜透明胶膜厚测量

·膜厚,颜色,粗糙度,透过率,反射率,雾度

·可用于实验室离线测量

技术水平:

·精度0.1%,达到国际同类产品水平

·检测透明和半透明涂层

·反射式太阳能玻璃的膜厚/折射率测量仪,具有测量速度快,测量准确,操作简便的特点。

 

 

 

技术参数:

产品类型

可见光

紫外+可见光

厚度测量

15nm-100μm

1nm-100μm

折射率

厚度要求100nm以上

厚度要求50nm以上

准确性

2nm或0.5%

精度

0.1nm

测量时间

小于1秒

光斑大小

大约1mm

 

 

软件:


·实时显示反射率,透光率,膜厚(多层膜),颜色值和折射率;同时具有仿真功能

·支持多角度各种入射条件下的仿真和拟合

·在线/离线监控和历史数据界面

·输出至SQL服务器;小型内置式SQL

·可根据客户要求定制界面

 

 


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