洁美光电订购了纳米级光学干涉检测系统

2017年5月3日，浙江洁美光电科技有限公司订购了纳米级光学干涉检测系统。

浙江洁美电子科技股份有限公司是一家专业为片式电子元器件（包括被动元件、分立器件、集成电路及LED)配套生产电子薄型载带、上下胶带、转移胶带(离型膜)等产品的企业，主要产品有分切纸带、打孔纸带、不打穿孔纸带、上下胶带、塑料载带及其配套盖带、塑料卷盘、转移胶带(离型膜)等，实现配套供应，是业内可为客户提供薄型载带整体解决方案的集成供应商。

PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪利用光谱相干测量学，用于测量半导体制造过程中的薄膜厚度，以及安装在半导体制造设备上的APC和薄膜的质量控制，能够测量单层/多层/涂布层在不透光基板上的厚度，精准度可达纳米级。   

PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪，其核心部件主要源自于美国Ocean Optics有限公司，其微型光谱仪体积小巧，可对全谱进行快速采集，产品应用广泛，可用于生化、光电、航空航天、环境保护、安全检测、农业等行业，可进行 Low-E 玻璃镀膜检测，ITO 玻璃镀膜检测，PET 涂布在线膜厚检测，金属表面涂层检测，半导体，LCD 膜厚检测等。

PSD-2000型技术参数：

型号 PSD-2000

可测膜厚范围 15 nm - 100 um 2nm - 200 um 200nm-3000um

测量可重复性 0.02 μm

测量准确 ±1%

光源 钨卤素灯

测量波长 380 - 1050 nm 250 - 1050 nm 900 - 1200 nm

光斑尺寸 约φ1 mm

工作距离 10 mm

可测层数 最多10层

分析 FFT 分析，拟合分析

测量时间 19 ms/点

外部控制功能 Ethernet

接口 USB 2.0（主单元与电脑接口）；RS-232C（光源与电脑接口）

电源 AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz

功耗 约330W（2通道）~450W（15通道）