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浙江洁美电子科技股份有限公司订购了我公司在线纳米级光学膜厚仪一台

作者:hzyangtao.cn,u96586.dzg168.com 浏览: 发表时间:2016-11-19 20:14:09

    2016119日,浙江洁美电子科技股份有限公司订购了我公司在线纳米级光学膜厚仪一台。

浙江洁美电子科技股份有限公司是一家专业为片式电子元器件(包括被动元件、分立器件、集成电路及LED)配套生产电子薄型载带、上下胶带、转移胶带(离型膜)等产品的企业,主要产品有分切纸带、打孔纸带、不打穿孔纸带、上下胶带、塑料载带及其配套盖带、塑料卷盘、转移胶带(离型膜)等,实现配套供应,是业内可为客户提供薄型载带整体解决方案的集成供应商。

    PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪利用光谱相干测量学,用于测量半导体制造过程中的薄膜厚度,以及安装在半导体制造设备上的APC和薄膜的质量控制,能够测量单层/多层/涂布层在不透光基板上的厚度,精准度可达纳米级。   

 

PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪,其核心部件主要源自于美国Ocean Optics有限公司,其微型光谱仪体积小巧,可对全谱进行快速采集,产品应用广泛,可用于生化、光电、航空航天、环境保护、安全检测、农业等行业,可进行 Low-E 玻璃镀膜检测,ITO 玻璃镀膜检测,PET 涂布在线膜厚检测,金属表面涂层检测,半导体,LCD 膜厚检测等。

 

PSD-2000型技术参数:

 

型号PSD-2000

 

可测膜厚范围15 nm - 100 um 2nm - 200 um 200nm-3000um

 

测量可重复性0.02 μm

 

测量准确±1%

 

光源钨卤素灯

 

测量波长380 - 1050 nm250 - 1050 nm900 - 1200 nm

 

光斑尺寸φ1 mm

 

工作距离10 mm

 

可测层数最多10

 

分析FFT 分析,拟合分析

 

测量时间19 ms/

 

外部控制功能Ethernet

 

接口USB 2.0(主单元与电脑接口);RS-232C(光源与电脑接口)

 

电源AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz

 

功耗330W2通道)~450W15通道)


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