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江苏皇冠新材料科技有限公司向我公司订购了纳米级光学膜厚仪

作者:扬涛科技 浏览:130 发表时间:2020-03-04 14:39:31

2020年2月28日江苏皇冠新材料科技有限公司向我公司订购了纳米级光学膜厚仪!

PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪利用光谱相干测量学,用于测量半导体制造过程中的薄膜厚度,以及安装在半导体制造设备上的APC和薄膜的质量控制,能够测量单层/多层/涂布层在不透光基板上的厚度,精准度可达纳米级。   

PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪,其核心部件主要源自于美国Ocean Optics有限公司,其微型光谱仪体积小巧,可对全谱进行快速采集,产品应用广泛,可用于生化、光电、航空航天、环境保护、安全检测、农业等行业,可进行 Low-E 玻璃镀膜检测,ITO 玻璃镀膜检测,PET 涂布在线膜厚检测,金属表面涂层检测,半导体,LCD 膜厚检测等。

PSD-2000型技术参数:

型号 PSD-2000

可测膜厚范围 15 nm - 100 um 2nm - 200 um 200nm-3000um

测量可重复性 0.02 μm

测量准确 ±1%

光源 钨卤素灯

测量波长 380 - 1050 nm 250 - 1050 nm 900 - 1200 nm

光斑尺寸 φ1 mm

工作距离 10 mm

可测层数 最多10层

分析 FFT 分析,拟合分析

测量时间 19 ms/点

外部控制功能 Ethernet

接口 USB 2.0(主单元与电脑接口);RS-232C(光源与电脑接口)

电源 AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz

    功耗 约330W(2通道)~450W(15通道)




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